Физические основы электронной и ионной технологии — В книге изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом; рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхем на основе полупроводниковых и пленочных материалов и др.
Название: Физические основы электронной и ионной технологии
Автор: Аброян И. А., Андронов А. Н., Титов А. И.
Издательство: Высшая школа
Год: 1984
Страниц: 320
Формат: DJVU, PDF
Размер: 10,34 МБ
Качество: отличное
|
Главная 
